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2023-07-11

行業應用|光譜共焦位移傳感器對石墨厚度的測量

項目一:測量薄膜下石墨的厚度



檢測方案:


將產品平置,上下各一個探頭,進行對射測厚,通過傳感器軟件獲取產品的厚度值。

1、采用D15A32R02S3的傳感器。

2、總厚度依次選取圈內位置測量,薄膜測量則選取石墨附近位置的薄膜厚度。


測試結果:



1、位置1重復13次的動態重復精度為0.135微米,位置2重復13次的動態重復精度為0.053微米,位置3重復13次的動態重復精度為0.073微米,位置4重復13次的動態重復精度為0.175微米。


2、產品4個位置總厚度的平均值-薄膜厚度的平均值=4個位置石墨平均厚度


產品清單:



項目二:測量石墨的厚度



檢測方案:


將產品平置,上下各一個探頭,進行對射測厚,通過傳感器軟件獲取產品的厚度值。

1、采用D15A32R02S3的傳感器。

2、石墨上隨機取4個位置測試。


測試結果:


位置1重復25次的動態重復精度為0.31微米,位置2重復25次的動態重復精度為0.168微米,位置3重復25次的動態重復精度為0.052微米,位置4重復25次的動態重復精度為0.064微米。


產品清單:



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