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2022-07-14

石墨厚度測量

要求:測量薄膜下石墨的厚度

 

 

 

如上圖所示,首先先圈出被測量的區域,薄膜上的油墨厚度測量,盡量選擇石墨附近的油墨進行測量,由于測量物體的不透明的,為了確保精度,采用的是雙軸對射平臺

 

 

雙軸對射平臺,是采用兩個側頭,通過對心的方式,是兩個探頭的光斑重合,從而保證被測區域的精度。

 

  (被測區域精度)

 

(平均值)

通過上圖就得出4個產品的區域精度,產品1位置1重復13次的動態重復精度為0.135微米,位置2重復13次的動態重復精度為0.053微米,位置3重復13次的動態重復精度為0.073微米,位置4重復13次的動態重復精度為0.175微米。光譜共焦傳感器的測量值會與接觸式高度計的測量值有一個固定偏差,可以通過增加固定補償值消除真值的差距

本次采用立儀科技D15A32R02S3的側頭搭配雙通道控制器,其側頭的最大量程為0.65MM,分辨率2nm,最小光斑直徑3.5um,工作距離6mm,最大測量角度±32°


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