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2023-08-30

光譜共焦位移傳感器在半導體領域的測量

       光譜共焦位移傳感器是一種最近流行新型的光學傳感器,其基本原理是一束白光 經過一個小孔,經過鏡頭將不同的波長聚焦到光軸上,色散地形成一條彩虹狀分布帶,照射到樣品上,部分反射光反射回去。照射在光軸與物體表面交點的光經過分光部件,通過小孔照射到光譜分析儀。根據波長計算就可以獲得鏡頭到被測物距離。在半導體領域,光譜共焦位移傳感器具有廣泛的應用前景,具體如下:


 

 

一、半導體制造過程中的質量檢測


       在半導體制造過程中,需要對各個工序中的產品進行質量檢測,以確保產品符合要求。在這個過程中,光譜共焦位移傳感器可以用于測量半導體表面的微小變形,如膜層的表面平整度、表面形貌等,從而判斷產品的質量是否合格。



 


二、半導體設備的振動監測


       半導體設備在運行時會產生震動,這些震動會對設備的性能和壽命產生影響。因此,需要對半導體設備的震動進行監測。在這個過程中,光譜共焦位移傳感器可以用于測量設備的振動情況,從而為設備的維護和保養提供參考依據。


     總之,光譜共焦位移傳感器在半導體領域具有廣泛的應用前景,可以為半導體制造保駕護航。深圳立儀科技有限公司自2014年成立之初,數十年磨一劍研發出具有自主知識產權的光譜共焦位移傳感器,并在國外傳感器的原有基礎上進行大幅度改進。其產品廣泛用于半導體領域測量,幫助無數客戶減少成本,提高產品質量。


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