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白光干涉儀

該產品由膜厚儀主機、上位機 PC 軟件、光纖組成。用一束準單色平行光照射多層薄膜, 光波會在第 1 到 n 層之間來回多次折射、反射進而形成多個相干光束。這些相干光束進行相 干疊加后,攜帶多層薄膜的相干信號并沿原路返回。不同波長的準單色光照射薄膜后,攜帶 的干涉信號不一樣。如果用一束含有多種波長的準單色光照射薄膜后,提取各個波段的干涉 信號,通過 OCD 自主知識產權的算法進行反演計算,便可獲得每一層薄膜材料...

產品描述

該產品由膜厚儀主機、上位機 PC 軟件、光纖組成。用一束準單色平行光照射多層薄膜, 光波會在第 1 到 n 層之間來回多次折射、反射進而形成多個相干光束。這些相干光束進行相 干疊加后,攜帶多層薄膜的相干信號并沿原路返回。不同波長的準單色光照射薄膜后,攜帶 的干涉信號不一樣。如果用一束含有多種波長的準單色光照射薄膜后,提取各個波段的干涉 信號,通過 OCD 自主知識產權的算法進行反演計算,便可獲得每一層薄膜材料的光學參數 (厚度、折射率、消光系數)。 


該產品可以升級為真空鍍膜在線沉積的薄膜監控。在多層薄膜制備過程中,用上述方法 進行實時在線監測,便可以獲得從薄膜開始生長到 1 層,再生長到 n 層的過程中所有的光學 大數據。在過程中進行計算分析進而輸出各層薄膜的停鍍點。同時保留生產過程中的大數據, 進行更好的品質把控,提升產品可追溯性。

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